全国首台国产商业电子束光刻机 “羲之” 投入应用测试，量子芯片有了 “中国刻刀”

近日，从杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来振奋人心的消息：作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机 “羲之” 已进入应用测试阶段。其精度可与国际主流设备相媲美，这意味着量子芯片研发自此拥有了 “中国刻刀”，为我国芯片产业发展注入新动力。 在测试现场，浙大余杭量子研究院的相关团队一片忙碌景象。一台外形酷似大型钢柜的机器正在进行应用测试，电子显示屏上实时参数不断闪烁。团队负责人形象地向记者介绍：“这可不是普通的机器，它就像是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！” 据悉，这台由研究院自主研发的新一代 100kV 电子束光刻机 “羲之”，已正式投入市场。

“羲之” 得名于书法家王羲之，研发团队相关负责人解释道：“只不过我们的‘毛笔’是电子束，用它在芯片上刻写电路。” 这台设备专注于量子芯片、新型半导体研发的核心环节，通过高能电子束在硅基上 “手写” 电路，精度达到 0.6nm，线宽 8nm。它还具有可灵活修改设计、无须掩膜版的优势，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，尤其适合芯片研发初期的反复调试。 此前，此类设备受国际出口管制，中国科学技术大学、之江实验室等国内顶尖科研机构长期面临采购难题。“羲之” 的落地有望打破这一困境。记者了解到，其定价低于国际均价，目前已与多家企业及科研机构展开合作洽谈。

“羲之” 的成功并非偶然，其背后是科技创新与产业创新 “两新融合” 的有力推动。今年 7 月，省级教育科技人才一体改革专项试点项目落户余杭区的浙江大学校友企业总部经济园。浙江大学与该园携手搭建了成果转化的快速通道：园区企业列出 “技术需求清单”，浙大教授带领研究生团队 “揭榜”，并全程陪伴从实验室样品到量产产品的转化过程。

在城西科创大走廊，这样的融合已成为常态。院士工作站入驻城投未来之星办公楼，精准对接企业需求；城西科创大走廊连续开展优秀概念验证项目征集活动，打通成果转化的 “最初一公里”。接下来，城西科创大走廊将持续推进 “两新融合”，为硬科技突破加速助力，推动科技成果高效转化为实际生产力。 需要指出的是，电子束光刻机并非新技术，它通过聚焦电子束在晶圆表面直接 “雕刻” 电路图案，能实现远超传统光学光刻的精度，可达到亚纳米级分辨率。不过，该技术存在效率瓶颈，如扫描速度慢、多束干扰等问题，使其在先进制程的大规模制造中难以应用。目前，电子束光刻机主要用于科研领域以及传统光刻制造流程中光掩模的制造，国际上也有不少相关厂商。形象地说，电子束光刻机是尖端科研与特定工业环节的 “刻刀”，而非量产芯片的 “印刷机”。未来，若能在多束控制或混合光刻架构上取得突破，或许可有限拓展其应用场景，但要全面替代 EUV 仍不太现实。尽管如此，“羲之” 的出现无疑为我国芯片产业发展带来了新的希望和可能。