
哈工大科研团队:实现二维铁电材料图案化制造
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该方法可在空气中利用远场飞秒激光刻蚀技术,在二维铁电材料上直写超分辨纳米沟槽阵列结构。 相关研究成果发表于《自然通讯》。此研究突破了纳米结构激光制备的分辨率瓶颈,对创新功能架构构建、电子器件集成及纳米光子学发展意义重大。

该方法可在空气中利用远场飞秒激光刻蚀技术,在二维铁电材料上直写超分辨纳米沟槽阵列结构。 相关研究成果发表于《自然通讯》。此研究突破了纳米结构激光制备的分辨率瓶颈,对创新功能架构构建、电子器件集成及纳米光子学发展意义重大。
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